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       如今，微型扬声器是移动电子设备，如智能手机、平板电脑和笔记本电脑不可或缺的一部分。该市场需求为每年10亿颗，并且还在不断增长。根据麦姆斯咨询调研，已经有一些公司（如Audio Pixels，并且ICsense为其开发了配套的ASIC）正在研发MEMS扬声器，并计划在未来几年推向市场。 
      扬声器可以采用硅基MEMS技术来制造，一层金属玻璃薄膜用作MEMS扬声器的振动膜（音膜）。由于其无定形微结构，金属玻璃相比晶体材料具有更加优异的机械性能。MEMS扬声器中的电磁执行器也可以采用微加工技术，将磁性材料和微线圈集成。微线圈采用铜基微加工技术。 
     相比传统的扬声器，在硅片上制造的MEMS扬声器具有高精度和再现性，以及低成本和新封装的可能性。 
     关于弗劳恩霍夫研究所 
     弗劳恩霍夫研究所，成立于1949年3月26日，是德国也是欧洲最大的应用科学研究机构。弗劳恩霍夫研究所是被认为和马克斯•普朗克协会并驾齐驱的德国最高水平的两大科研机构之一，在国际上享有盛誉。弗劳恩霍夫研究所下设80多个研究所，年经费10亿欧元，总部位于慕尼黑。弗朗霍夫研究所为中小企业、政府部门、国防安全等提供合同科研服务，主要研究领域包括微电子、制造、信息与通讯、材料与零部件、生命科学以及表面技术和光子学等。 
     关于东北大学 
    东北大学（Tohoku University），简称东北大，位于日本东北地区仙台市，入选日本“超级国际化大学计划（Top Global University Project）”A类顶尖校、全球30计划，为八大学工学系联合会成员、日本学术研究恳谈会（RU11）成员、东亚研究型大学协会成员、环太平洋大学联盟成员，已成为包括文、理、工、医、农各科的日本国立研究型综合大学。

转自：http://www.mems.me/Actuator_201506/1996.html