MEMS多维度微动平台是利用MEMS执行器驱动平台以及所载物体在多个维度上实现移动。伴随各类系统不断集成化， 小型化的，以及精度，可靠性等性能要求的不断提高，MEMS微动平台以其体积小，精度高，功耗低，速度快等优势 在各个领域中有着极为广阔的应用场景。

所涉及领域覆盖光学成像，光学通讯，生物检测等，并可在无人机， 视频监控，虚拟现实，增强现实，基因工程，5G，智能穿戴等一系 列应用中起到关键作用。

微奥微动平台可以实现5维驱动（面内二维+面外三维），结合电热 与静电两种驱动方式，可根据具体应用需求搭配不同执行器，可实 现高精度（纳米级），大位移（毫米级），低功耗，高填充率，小 尺寸，高速多维微动平台。

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  MEMS微动平台可驱动图像传感器用于光学图像防抖， 从硬件上根本解决图像抖动问题
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  MEMS微动平台也可来驱动透镜，实现光学变焦
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  MEMS微动平台还可用于扫描探针显微镜，实现对样本 的高速成像。