多自由度微动平台
芯片型号
芯片尺寸/mm
镜面尺寸/mm
机械角度/°
驱动电压/V
一阶固有频率/Hz
功耗/mW
响应时间/ms
MS
1.35×1.55×0.4
0.55×0.55
±4
4
2.3~2.6k
15~16
3~5
下载