该系列芯片有共振扫描和准静态偏转两种工作模式，共振扫描最大可实现±15°机械偏转，准静态模式最大可实现 6.5°机械偏转。微镜镜面尺寸达2.5~3mm，表面镀铝或金，对可见光至红外光不同波长光源均有良好的反射率。该 系列芯片可应用于3D人脸识别、激光雷达、医学成像、激光打印等领域。