垂直大位移微镜芯片	芯片型号	芯片尺寸/mm	镜面尺寸/mm	机械角度/°	驱动电压/V	一阶固有频率/Hz	功耗/mW	响应时间/ms
	SA-F14.1	11.4×3.65×0.4	1.2×1.4	330um	8	600~700	730	35~45	下载
	SA-F14.2	11.4×3.65×0.4	1.2×1.4	220um	10	650~800	350	5~15	下载
	SA-F14.3	3.75X2.5	1.2X1.4	170um	15	660~830	50~55	140~200	下载
	SA-F14.3	3.75X2.5	1.2X1.4	200um	16	530~630	50~55	100~150	下载