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微奥科技新获美国专利—《一种MEMS自对准高低梳齿及其制造方法》
发布时间:2019.03.22  浏览次数:
    近日,公司申请的美国专利:一种MEMS自对准高低梳齿及其制造方法(国际专利申请号:PCT/CN2015/078711),已通过美国专利商标局的审核被确认可以授权,并对本专利申请颁发了专利证书。本专利发明一种创新的自对准静电上下梳齿驱动技术,可实现高精度低成本的MEMS微镜,并可广泛应用于光纤通信、3D光学测量、激光雷达、激光投影等领域。

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