自2006年以来，弗劳恩霍夫电子纳米系统研究所和微技术中心与日本东北大学致力于MEMS扬声器的研发。2007年10月，世界著名的国际研究中心——东北大学的材料先进研究所（WPI-AIMR）开始新材料和新原理的研究工作。弗劳恩霍夫电子纳米系统研究所和微技术中心主任Thomas Gessner教授也是WPI-AIMR的首席研究员。Gessner教授在东北大学的工作组专注于NEMS/MEMS器件和微纳制造技术。
基于金属玻璃薄膜的MEMS扬声器
双方科学家在金属玻璃领域携手合作，东北大学的科学家对金属玻璃材料有很深入的了解，在该领域有超过20年的基础研究成果。WPI-AIMR基于这些基础研究，从而研发出首款MEMS器件——微型扬声器。
2015年4月22-24日，弗劳恩霍夫研究所在日本横滨的微纳米展会上首次展出了这款基于金属玻璃薄膜的MEMS扬声器。这款扬声器采用晶圆级微加工技术，尺寸仅有指甲盖大小，如下图所示。
采用硅微技术制造的MEMS扬声器原型，尺寸为12 x 12 x 0.8 mm
如今，微型扬声器是移动电子设备，如智能手机、平板电脑和笔记本电脑不可或缺的一部分。该市场需求为每年10亿颗，并且还在不断增长。根据麦姆斯咨询调研，已经有一些公司（如Audio Pixels，并且ICsense为其开发了配套的ASIC）正在研发MEMS扬声器，并计划在未来几年推向市场。
扬声器可以采用硅基MEMS技术来制造，一层金属玻璃薄膜用作MEMS扬声器的振动膜（音膜）。由于其无定形微结构，金属玻璃相比晶体材料具有更加优异的机械性能。MEMS扬声器中的电磁执行器也可以采用微加工技术，将磁性材料和微线圈集成。微线圈采用铜基微加工技术。
相比传统的扬声器，在硅片上制造的MEMS扬声器具有高精度和再现性，以及低成本和新封装的可能性。
关于弗劳恩霍夫研究所
弗劳恩霍夫研究所，成立于1949年3月26日，是德国也是欧洲最大的应用科学研究机构。弗劳恩霍夫研究所是被认为和马克斯•普朗克协会并驾齐驱的德国最高水平的两大科研机构之一，在国际上享有盛誉。弗劳恩霍夫研究所下设80多个研究所，年经费10亿欧元，总部位于慕尼黑。弗朗霍夫研究所为中小企业、政府部门、国防安全等提供合同科研服务，主要研究领域包括微电子、制造、信息与通讯、材料与零部件、生命科学以及表面技术和光子学等。
关于东北大学
东北大学（Tohoku University），简称东北大，位于日本东北地区仙台市，入选日本“超级国际化大学计划（Top Global University Project）”A类顶尖校、全球30计划，为八大学工学系联合会成员、日本学术研究恳谈会（RU11）成员、东亚研究型大学协会成员、环太平洋大学联盟成员，已成为包括文、理、工、医、农各科的日本国立研究型综合大学。
转自：http://www.mems.me/Actuator_201506/1996.html
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