1D MEMS mirror芯片	芯片型号	芯片尺寸/mm	镜面尺寸/mm	机械角度/°	驱动电压/V	一阶固有频率/Hz	功耗/mW	响应时间/ms
	FI-S14	4.7×3.1×0.45	1.4×1.4	±15	35~45	1~2k	—	—	下载
	FI-S30	4×7×0.45	2.5×3	±15	40~45	400~500	—	—	下载
	FI-S20	4.6×3×0.45	2×2	±15	40~45	500~1000	—	—	下载
	LS-T25.1	3×4×0.4	∅2.5	3.5	4	900~1000	130~140	4~6	下载
	LS-T25.2	3×4×0.4	∅2.5	6.5	6	700~800	150~160	8~10	下载
	OC-T09	1.9×1.9	0.9	0.5	6	2000	—	＜2ms	下载