二维微镜芯片	芯片型号	芯片尺寸/mm	镜面尺寸/mm	机械角度/°	驱动电压/V	一阶固有频率/Hz	功耗/mW	响应时间/ms
	LS-T30.1	4×4×0.4	∅3	±1.3	4	500~600	20~25	3~6	下载
	LS-T30.2	4×4×0.4	∅3	±1.3	4	500~600	60~70	4~8	下载
	LS-T20.1	3×4×0.4	∅2	±2	4	400~500	20~25	3~6	下载
	OC-MI-T10	2.1×2.1×0.5	∅1	±4	4	600~800	17~18	3~5	下载
	MI-T05.1	1.35×1.55×0.4	0.55×0.55	±4	4	1.5~1.8K	15~16	3~5	下载
	MI-T05.2	1.3×1.5×0.4	0.55×0.55	±6	5	1.3~1.6k	15~16	3~5	下载
	MI-T05.3	1.3×1.5×0.4	0.52×0.52	±4.5	4	1.3~1.6k	15~16	3~5	下载
	MI-T03	1.1×1.5×0.4	0.35×0.35	±6	4	1.9~2.1k	15~16	3~5	下载
	MI-T05.4	1.3×1.5×0.4	0.55×0.55	±3.8	4	1.5~1.8K	15~16	3~5	下载
	MI-T05.5	1.35×1.55×0.4	0.55×0.55	±4	4	1.5~1.8K	15~16	3~5	下载
	MI-T05.6	1.35×1.55×0.4	0.5×0.5	±4.5	4	1.3~1.6k	15~16	3~5	下载
	MI-T05.7	1.35×1.55×0.4	0.55×0.55	±4	4	1.5~1.8K	15~16	3~5	下载