多自由度微动平台  芯片型号 芯片尺寸/mm 镜面尺寸/mm  机械角度/° 驱动电压/V 一阶固有频率/Hz 功耗/mW 响应时间/ms
MS 1.35×1.55×0.4 0.55×0.55 ±4 4 2.3~2.6k 15~16 3~5 下载