一维微镜芯片  芯片型号 芯片尺寸/mm 镜面尺寸/mm  机械角度/° 驱动电压/V 一阶固有频率/Hz 功耗/mW 响应时间/ms
FI-S14 4.7×3.1×0.45 1.4×1.4 ±15 35~45 1~2k 下载
FI-S30 4×7×0.45 2.5×3 ±15 40~45 400~500 下载
FI-S25.4 6×3.7×0.95 2×2 ±15 60~120 1.4~1.5K 下载
LS-T25.1 3×4×0.4 ∅2.5 3.5 4 900~1000 130~140 4~6 下载
LS-T25.2 3×4×0.4 ∅2.5 6.5 6 700~800 150~160 8~10 下载
OC-T09 1.9×1.9 0.9 0.5 6 2000 <2ms 下载